“6N”是氣體純度的表示方式,N代表純度的數量級。6N級超純氣體的純度為99.9999%,即氣體中雜質的含量非常微小,僅為百萬分之一。與普通氣體相比,幾乎不含任何雜質,因此在許多對氣體純度要求高的領域中具有不可替代的作用。
在實際生產中,氣體純度一般分為多個級別,如3N(99.9%)、4N(99.99%)、5N(99.999%)和6N(99.9999%)。級超純氣體通常經過高精度的凈化工藝處理,能夠去除氣體中的水分、氧氣、氮氣、氦氣、二氧化碳等雜質,達到非常高的純度水平。

6N級超純氣體的特點:
1.高純度:純度可達到99.9999%以上。氣體中的雜質含量通常低于百萬分之一,因此它在實驗室和高科技生產中的應用尤為重要。
2.低雜質:對于級超純氣體而言,雜質通常包括水分、氧、氮、二氧化碳等,它們可能對化學反應和設備運行產生不良影響。因此,生產過程需要嚴格控制,確保雜質的含量遠低于允許的標準。
3.高穩定性:穩定性較高,不會在短時間內發生化學反應或產生沉淀,適合用于對氣體性質要求嚴格的應用場合。
4.精細控制:制備通常采用特殊的氣體凈化設備和技術,如分子篩吸附、低溫冷凝、化學吸附等方法,精確控制氣體中雜質的含量和分布。
6N級超純氣體的生產工藝:
1.氣體分離與凈化技術:
-分子篩吸附法:利用分子篩對氣體中水分、氨氣、二氧化碳等雜質進行吸附和去除。分子篩能夠選擇性吸附某些分子,利用這一特性可以有效去除氣體中的特定雜質。
-低溫冷凝法:通過將氣體冷卻極低溫度,使氣體中的液態成分凝結分離,從而去除水分、氨氣、二氧化碳等物質。
-化學吸附法:利用某些特定化學物質對氣體中雜質進行吸附,如利用氧化鋁、活性炭等吸附劑去除氣體中的水分和有害物質。
2.氣體過濾與精密凈化設備:在級超純氣體的生產過程中,還需要使用高效的氣體過濾系統,如微米級和納米級的過濾器,以去除殘留的微小顆粒。
3.超高純氣體儲存與輸送技術:需要在嚴格的條件下儲存和輸送,以避免污染。通常,使用特殊材質的鋼瓶或儲氣罐,并采用低泄漏率的管道和閥門進行輸送。
4.在線檢測與質量控制:在氣體的生產過程中,通過實時監控氣體中的雜質含量,確保氣體的純度符合標準。采用高精度的檢測儀器,如氣相色譜儀、質譜儀等,進行在線監測。